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CC-Link｜デバイス｜その他

VAT Vakuumventile AG

0x4D（真空バルブ）／612シリーズ　バタフライ・コントロール・バルブ

バタフライ・コントロール・バルブ、APC（自動圧力制御）、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲：SEMI、FDP、SOLAR、PV（Etch、CVD）

特長

• 超高速・高精度圧力制御
• システム・パラメーター自動記憶
• プラズマ着火用ホールド機能
• バルブ位置制御
• 圧力センサー用入力
• 停電用オプション

局種別	リモートデバイス
占有局数	1局～4局
プロトコルバージョン	Ver. 2.0
外形寸法	612 DN40:257 x 124 x 90[mm] 612 DN50:267 x 124 x 90[mm] 612 DN63:329 x 130 x 90[mm] 612 DN80:450 x 145 x 90[mm] 612 DN100:371 x 165 x 90[mm] 612 DN160:447 x 225 x 90[mm] 612 DN200:523 x 285 x 90[mm]
質量	612 DN40:2.6[Kg],612 DN50:3[Kg],612 DN63:4.1[Kg],612 DN80:4.7[Kg],612 DN100:5[Kg],612 DN160:7.2[Kg],612 DN200:8.1[Kg]
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