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VAT Vakuumventile AG
0x4D（真空バルブ）／612シリーズ バタフライ・コントロール・バルブ
バタフライ・コントロール・バルブ、APC（自動圧力制御）、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲：SEMI、FDP、SOLAR、PV（Etch、CVD）
特長
- 超高速・高精度圧力制御
- システム・パラメーター自動記憶
- プラズマ着火用ホールド機能
- バルブ位置制御
- 圧力センサー用入力
- 停電用オプション
| 局種別 | リモートデバイス |
|---|---|
| 占有局数 | 1局～4局 |
| プロトコルバージョン | Ver. 2.0 |
| 外形寸法 | 612 DN40:257 x 124 x 90[mm] 612 DN50:267 x 124 x 90[mm] 612 DN63:329 x 130 x 90[mm] 612 DN80:450 x 145 x 90[mm] 612 DN100:371 x 165 x 90[mm] 612 DN160:447 x 225 x 90[mm] 612 DN200:523 x 285 x 90[mm] |
| 質量 | 612 DN40:2.6[Kg],612 DN50:3[Kg],612 DN63:4.1[Kg],612 DN80:4.7[Kg],612 DN100:5[Kg],612 DN160:7.2[Kg],612 DN200:8.1[Kg] |
| 標準価格 |
- CC-Link Partner Association (CLPA)
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