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CC-Link|デバイス|その他

0x4D(真空バルブ)/612シリーズ バタフライ・コントロール・バルブ

バタフライ・コントロール・バルブ、APC(自動圧力制御)、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲:SEMI、FDP、SOLAR、PV(Etch、CVD)